Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения. Берлин Е.В., Григорьев В.Ю., Сейдман Л.А.
907 ₽
За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого — систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трёхмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников.
Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения. Берлин Е.В., Григорьев В.Ю., Сейдман Л.А. скачать бесплатно в epub, fb2, pdf, txt
На сайте электронной библиотеки BookPatriot вы можете скачать книгу Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения. Берлин Е.В., Григорьев В.Ю., Сейдман Л.А. в формате fb2, rtf, pdf, txt, epub. У нас можно прочитать отзывы и рецензии о этом произведении.
| Вес | 0,867 кг |
|---|---|
| Габариты | 20 × 6 × 25 см |
| Набор | Нет |
| Количество страниц | 464 |
| Год издания | 2018 |
| Тип обложки | Твёрдый переплёт |
| Автор | Берлин Евгений Владмирови |
| Тематика книги | Технические науки |
| ISBN | 978-5-94836-519-0 |
| Производитель | Техносфера |
Похожие товары
-
Modern Russian Cuisine for Your Home
987 ₽В корзинуКнига Modern Russian Cuisine For Your Home не просто рассказывает о самых популярных блюдах русской кухни, она снабжена подробными иллюстрациями каждого шага и написана настолько понятно, что приготовить сможет даже ребенок. Это именно те блюда, которые чаще всего готовят и подают в российских семьях и кафе. Теперь и вы сможете их приготовить. Книга переведена и …
-
Кратчайшая история времени
751 ₽В корзинуКратчайшая история времени — больше, чем пространный комментарий к сложным понятиям и теориям, описанным в легендарной «Краткой истории». Авторы, Стивен Хокинг и Леонард Млодинов, спустя 17 лет, многое поменявших в астрофизике, новым взглядом смотрят на извечные вопросы: о природе пространства и времени, роли Бога в сотворении мира, о прошлом и будущем Вселенной. Данные, полученные астрономическими …
-
Эгоистичный ген. Докинз Р.
873 ₽В корзинуМы созданы нашими генами. Мы, животные, существуем, чтобы сохранить их, и служим лишь машинами, обеспечивающими их выживание. Мир эгоистичного гена — это мир жестокой конкуренции, безжалостной эксплуатации и обмана. Ну а как же акты альтруизма, наблюдаемые в природе: пчелы, совершающие самоубийство, когда они жалят врага, чтобы защитить улей, или птицы, рискующие жизнью, чтобы предупредить стаю …
-
Вторая эра машин
612 ₽В корзинуБеспилотные автомобили, нейронные сети, компьютерная диагностика заболеваний, использование Больших данных в самых разных сферах человеческой деятельности… Авторы этой книги, инженеры и ученые из Массачусетского технологического института, сравнивают стремительное развитие цифровых технологий, которое мы наблюдаем сегодня, с промышленной революцией XVIII столетия — первой «эрой машин». Промышленная революция положила начало современному миру, вторая эра машин тоже на …
Максим Смирнов
Я, Максим Смирнов, в свободное время пишу статья для сайта bookpatriot.ru. Все данные для своих статей беру из открытых источников. Стараюсь писать только на самые актуальные темы с максимально свежими данными. Я профессиональный блогер.
Отзывы
Отзывов пока нет.